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峰谷絕對(duì)精度 ±0.6nm（λ/1000；峰谷分辨率 0.05 nm（λ/12000）；波前均方根重復(fù)性 <0.23nm（λ/2800）；簡(jiǎn)單均方根重復(fù)性 <0.06 nm（λ/10500）；激光類型和波長(zhǎng) 穩(wěn)定He-Ne；632.8nm
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愛沙尼亞Difrotec公司的激光干涉儀是市場(chǎng)上高精度干涉儀的標(biāo)桿產(chǎn)品，測(cè)量精度可達(dá)0.6nm(λ/1000). 其標(biāo)桿產(chǎn)品D7激光干涉儀采用點(diǎn)衍射技術(shù)，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）檢測(cè)及透射波前檢測(cè)。Difrotec在光學(xué)測(cè)試領(lǐng)域有多項(xiàng)世界紀(jì)錄。
● 峰谷絕對(duì)精度：±0.6nm（λ/1000）
● 峰谷分辨率：0.05 nm（λ/12000）
● 波前均方根重復(fù)性：<0.23nm（λ/2800）
● 簡(jiǎn)單均方根重復(fù)性：<0.06 nm（λ/10500）
● 激光類型和波長(zhǎng)：穩(wěn)定He-Ne，632.8nm
● 數(shù)值孔徑 NA:0.55（f 0.91）
● 數(shù)據(jù)采集：相移干涉法（psi）
● 超高的絕對(duì)精度λ/1000 (0.6 nm)
● 數(shù)值孔徑：0.55 (f# 0.91)
● 重復(fù)準(zhǔn)確性(simple RMS)：< 0.06 nm
● 基于工作波長(zhǎng)：632.8nm
● 光纖干涉儀
● 光學(xué)表面測(cè)量
● 光纖傳感
營(yíng)業(yè)執(zhí)照
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