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3um線寬小型桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) PALET DDB-701系列  

3um線寬小型桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) PALET DDB-701系列
桌面尺寸無(wú)掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過(guò)其復(fù)雜的軟件支持簡(jiǎn)單的光刻操作。


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產(chǎn)品型號(hào) 2
貨號(hào) 操作 名稱
E80100175  桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) 電動(dòng) PALET DDB-701-DL   [PDF] 載物臺(tái)：電動(dòng) XYZθ；曝光光源：365nm (typ.) LED；Min. 線寬3μm 或 115μm； 單次曝光面積：1mm×0.6mm 或5mm×3mm；每張照片曝光時(shí)間：1～2 sec. 或 15～30 sec. ；Max. 曝光區(qū)域：25mm×25mm(自動(dòng)連接)；可接受的工作尺寸：60mm ×60mm (t3mm)；相容文檔格式：DXF JPEG PNG BITMAP XPS； 主體尺寸：300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)    價(jià)格 : 請(qǐng)聯(lián)系客服 庫(kù)存/貨期:請(qǐng)咨詢客服
E80100174  桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) 手動(dòng) PALET DDB-701-MS   [PDF] 載物臺(tái)：手動(dòng) XYZθ；曝光光源：365nm (typ.) LED；Min. 線寬3μm 或 115μm； 單次曝光面積：1mm×0.6mm 或5mm×3mm；每張照片曝光時(shí)間：1～2 sec. 或 15～30 sec. ；Max. 曝光區(qū)域：25mm×25mm(手動(dòng)連接)；可接受的工作尺寸：60mm ×60mm (t3mm)；相容文檔格式：DXF JPEG PNG BITMAP XPS； 主體尺寸：300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)    價(jià)格 : 請(qǐng)聯(lián)系客服 庫(kù)存/貨期:請(qǐng)咨詢客服
總覽

桌面尺寸無(wú)掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過(guò)其復(fù)雜的軟件支持簡(jiǎn)單的光刻操作。

產(chǎn)品特點(diǎn)

硬件特性

小型化 

內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)和真空吸油泵

只需要電源和光刻間 

img_15.png


軟件特性

用戶方便型接口

簡(jiǎn)易流程

支持對(duì)準(zhǔn)和暴露條件檢查*限制電動(dòng)載物臺(tái)模型

img_16.png


通用參數(shù)

曝光示例

電路/傳感器模式

電路圖晶體管圖案磁性傳感器模式
圖片1.png圖片2.png圖片3.png


三維結(jié)構(gòu)*×2 僅物鏡

高向柱結(jié)構(gòu)

厚膜流體路徑結(jié)構(gòu)

胚胎干細(xì)胞培養(yǎng)結(jié)構(gòu)

圖片4.png圖片5.png圖片6.png



型號(hào)

DDB-701-MS

DDB-701-DL

載物臺(tái)(Stage)

手動(dòng) XYZθ載物臺(tái)

電動(dòng) XYZθ載物臺(tái)

 曝光光源

365nm (typ.) LED

Min. 線寬

3μm *1
15μm *2

單次曝光面積

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2

每張照片曝光時(shí)間*3

1～2 sec. *1
15～30 sec. *2

Max. 曝光區(qū)域

25mm×25mm(手動(dòng)連接)

25mm×25mm(自動(dòng)連接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)

相容文檔格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS

主體尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)

主機(jī)重量

30kg

*1在使用×10物鏡的情況下

*2在使用×2物鏡的情況下

*3曝光時(shí)間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)


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