極紫外光源.pdf(?)
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激光平均功率：100W；脈沖重復(fù)率：25kHz或70kHz(z高)；等離子體穩(wěn)定性：3% RMS
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主要技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | TEUS S-100 |
| 激光平均功率 | 100W |
| 脈沖重復(fù)率 | 25kHz或70kHz(z高) |
| 可收集EUV功率的立體角 | 0.05sr |
| 等離子體尺寸*μm | ≤ 60 or ≤ 40 |
| 帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5 nm±1%) | 2 % @2π·sr 或 1.6% @2π·sr |
| ЕUV碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)通量收集角(13.5nm±1%) | 11 mW 或9 mW |
| 碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)光譜亮度(13.5nm±1%)，W/mm2·sr | ≥ 80W/mm2·sr或≥ 140 W/mm2·sr |
| 等離子體穩(wěn)定性 | 3% RMS |
系統(tǒng)壽命和維護(hù)要求
| 型號(hào) | TEUS S-100 |
| 在24/7運(yùn)行模式下，不使用特殊膜過濾器，收集器壽命降解10% | 不少于8個(gè)月 |
| 在24/7運(yùn)行模式下，使用特殊膜過濾器，收集器壽命降解10% | 不少于18個(gè)月 |
| 每次維護(hù)時(shí)間: | 4個(gè)月- 1天 |
| 正常運(yùn)行時(shí)間在24/7運(yùn)行模式*** | 4個(gè)月 |
電力，系統(tǒng)尺寸和重量
| 型號(hào) | TEUS S-100 |
| 電功率 | 6.5 kW |
| 尺寸（L×W×H） | 1500×1000×1200 mm |
| 重量，包括激光部件 | 770 公斤 |
設(shè)備需求
| 型號(hào) | TEUS S-100 |
| 房間清潔度等級(jí) | ISO7 |
| 水流速率 | 10升/分鐘 |
? 高亮度(意味著高吞吐量)以及出色的穩(wěn)定性
? jue對(duì)Min. 碎片
? 很高的正常運(yùn)行時(shí)間
? 掩膜及表面檢查:
? 模板檢查(PMI)
? 區(qū)域掩模檢驗(yàn)(AIMS)
? 掩?？誦ai檢驗(yàn)(MBI)
? 極紫外光學(xué)鏈中的極紫外掃描儀檢測
? 材料科學(xué)
? 晶片光刻檢驗(yàn)
| 名稱 | 型號(hào)貨號(hào) | 描述 | 價(jià)格 |
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營業(yè)執(zhí)照