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FS70L-TH 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1X管鏡頭 TV接口激光)


聚焦調(diào)節(jié)行程:50mm 粗調(diào) 3.8mm/rev 微調(diào) 0.1mm/rev ;直立圖像;瞳距調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm;視場(chǎng)數(shù) Field number:24;俯角 Tilt angle:0°-20°;光通比:可調(diào)100/0 or 0/100;防護(hù)濾光片:內(nèi)置激光濾光片;適用激光波段:1064/532/355nm;1X管鏡頭;相機(jī)安裝端口:使用帶TV接口的激光;物鏡(用于觀察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo;物鏡(用于激光切割):M/LCD Plan NIR;M/LCD Plan NUV

?因產(chǎn)品升級(jí)或技術(shù)原因,產(chǎn)品配圖可能有出入,具體請(qǐng)咨詢客服!

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產(chǎn)品總覽

日本三豐Mitutoyo FS70 半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡,半導(dǎo)體觀測(cè)顯微鏡 ,工作距離足夠長(zhǎng),倍數(shù)高,能夠應(yīng)用在各種檢測(cè)場(chǎng)合和質(zhì)量確認(rèn)方面。搭配Mitutoyo的全系列可見(jiàn)光遠(yuǎn)場(chǎng)校正鏡頭,顯微鏡系統(tǒng)的放大倍率可涵蓋20X到8000X,工作距離范圍從6到34mm。對(duì)焦目鏡可安裝直徑為25mm的測(cè)量分劃板來(lái)測(cè)量。50/50三端輸出顯微鏡的粗調(diào)范圍為50mm,精確調(diào)整分辨率可達(dá)0.1mm,并可同時(shí)進(jìn)行視頻輸出和雙目觀測(cè)。

FS70系列半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹(shù)脂等。可應(yīng)用于切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針?lè)治霭雽?dǎo)體故障。


通用參數(shù)

特點(diǎn)

采用Mitutoyo遠(yuǎn)場(chǎng)校正鏡頭

三端輸出設(shè)計(jì)可輕松接收視頻

轉(zhuǎn)盤可接最多四個(gè)物鏡


應(yīng)用:

切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記

薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。

還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針?lè)治霭雽?dǎo)體故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。

應(yīng)用:晶體硅的內(nèi)部觀察;紅外光譜特征分析。

* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

? 支持BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。

? 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長(zhǎng)工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。


技術(shù)參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

FS70

378-184-1

FS70-TH

378-184-3

FS70Z

378-185-1

FS70Z-TH

378-185-3

FS70L

378-186-1

FS70L-TH

378-186-3

FS70L4

378-187-1

FS70L4-TH

378-187-3

Short base model No

短基礎(chǔ)型號(hào)

FS70S

378-184-2

FS70-THS

378-184-4

FS70ZS

378-185-2

FS70Z-THS

378-185-4

FS70L-S

378-186-2

FS70L-THS

378-186-4

FS70L4S

378-187-2

FS70L4-THS

378-187-4

聚焦調(diào)節(jié) Focus adjustment

使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對(duì)焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍

圖像 Image

正像 Erect image

瞳距 Pupil distance

Siedentopf 登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍:2 - 3” /  51 - 76mm

視場(chǎng)數(shù) Field number

24mm

俯角 Tilt angle

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

光通比 Optical Pass Ratio

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型(目

鏡/管徑=

100%/0%:

0%/100%)

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型

(目鏡/管徑=100%/0% or 0%/100%)

防護(hù)濾光片

-

內(nèi)置激光濾光片

管徑鏡頭 Tube lens

1x

1x-2x放大

1x

適用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相機(jī)安裝端口

C-mount (適用適配器B選件)

使用帶TV接口的激光

C-mount開(kāi)關(guān)(帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān))

照明系統(tǒng)(選件)

亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)、光纖長(zhǎng)度

物鏡(用于觀察)

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物鏡(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

載重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主機(jī))

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

燈泡更換

標(biāo)準(zhǔn): 鹵素?zé)襞?nbsp;(12V, 100W) (517181)

用于光纖傳導(dǎo)照明裝置 (12V, 100W) (378-700)

注:鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。

四種主體類型:

FS70-帶1X管鏡頭的主體(非激光)

FS70Z-主體(非激光),帶1X-2X變焦放大倍率轉(zhuǎn)換器

FS70L-三YAG激光波長(zhǎng)1064/532/355nm 主體1X*

FS70L4-兩個(gè)波長(zhǎng)范圍532/266nm 主體1X*


Mitutoyo   FS70 Inspection Microscope

Microscope System

Mitutoyo FS70 Microscope System   (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002)

#56-003

Microscope Head (One Required)

Mitutoyo FS70 Microscope Head

#55-999

Microscope Stand (One Required)

Mitutoyo FS70 Microscope Stand

#56-000

Microscope Eyepieces in Pairs   (One Required)

10X WF Focusing Eyepieces, 24mm   Field Dia.

#56-001

15X WF Focusing Eyepieces, 16mm   Field Dia.

#56-310

20X WF Focusing Eyepieces, 12mm   Field Dia.

#56-004

Microscope Turret (One Required)

Manual 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-002

Motorized 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-313

Microscope Stage (Optional)

2" x 2" XY-Axes   Positioning Stage

#56-011

Accessories and Reticles   (Optional)

Fiber Optic Light Guide for   FS70, 72" Length

#56-008

Polarizer Set

#56-009

C-Mount Coupler (1X) for Video   Adaptation

#56-010

90° Crossline, Reticle

#56-005

Concentric Circles Reticle, 1.2   - 18mm Dia, 1.2mm Increments

#56-007

20mm Line/0.1mm Divisions,   Reticle

#56-183

5mm Line/0.05mm Divisions,   Reticle

#56-184

90°/60° Crossline, Reticle

#56-311


Stock   No.

Objective

WD (mm)

Resolving Power (μm)

10X Eyepiece #56-001

15X Eyepiece #56-310

20X Eyepiece #56-004

Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)

#58-235

M Plan Apo 1X

11

11

10-20X

24-12

15-30X

16-8

20-40X

12-6

#46-142

M Plan Apo 2X

34

5

20-40X

12-6

30-60X

8-4

40-80X

6-3

#46-143

M Plan Apo 5X

34

2

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#66-383

M Plan Apo 7.5X

35

1.3

75-150X

3.2-1.6

112.5-225X

2.13-1.07

150-300X

1.6-0.8

#46-144

M Plan Apo 10X

33.5

1

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#46-145

M Plan Apo 20X

20

0.7

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-146

M Plan Apo 50X

13

0.5

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-147

M Plan Apo 100X

6

0.4

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#46-398

M Plan Apo 20X SL

30.5

1

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-399

M Plan Apo 50X SL

20.5

0.7

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-401

M Plan Apo 100X SL

13

0.5

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#34-247

M Plan Apo 5X HR

25.5

1.3

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#58-236

M Plan Apo 10X HR

15

0.6

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#58-237

M Plan Apo 50X HR

5.2

0.3

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#58-238

M Plan Apo 100X HR

1.3

0.3

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06


其它型號(hào)
  名稱 型號(hào)貨號(hào)         價(jià)格
FS70 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1X管鏡頭 固定光通比50/50 C-mount) E80100060
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FS70-TH 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1X管鏡頭 可調(diào)光通比 C-mount接口) E80100143
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FS70Z 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1x-2x管鏡頭 固定光通比50/50 C-mount) E80100144
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FS70Z-TH 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1x-2x管鏡頭 C-mount) E80100145
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FS70L 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1x管鏡頭 TV接口激光) E80100146
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FS70L4 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1x管鏡頭 C-mount帶開(kāi)關(guān)) E80100148
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FS70L4-TH 用于半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 (1x管鏡頭 C-mount帶開(kāi)關(guān)) E80100149
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